XX項目安全驗收評價報告模版
編制說明
1.1評價依據(jù)
1、 中華人民共和國主席令第70號《中華人民共和國安全生產(chǎn)法》
2、 勞動部令第3號《建設(shè)項目（工程）勞動安全衛(wèi)生監(jiān)察規(guī)定》
3、 勞動部勞安字[1992]1號《建設(shè)項目（工程）職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)施與技術(shù)措施驗收辦法》
4、 國家安管局安監(jiān)管技裝字[2003]37號《安全評價通則》
5、 國家安管局安監(jiān)管技裝字[2003]79號《安全驗收評價導(dǎo)則》
6、 天津市安管局津安監(jiān)管字[2002]84號《天津市安全評價管理辦法》
7、 SJ30002-92《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定》
8、 國家、地方、行業(yè)有關(guān)勞動安全的法規(guī)、規(guī)定、規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)（詳見附件1）
9、 建設(shè)單位提供的《中芯國際集成電路制造（天津）有限公司項目》安全驗收的相關(guān)資料。
10、 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司委托天津泰山安全科技有限公司進行《中芯國際集成電路制造（天津）有限公司項目》安全驗收評價合同書。
1.2評價目的及評價范圍
1、 評價目的及評價內(nèi)容
1） 安全驗收評價的目的是貫徹“安全第一，預(yù)防為主”的方針，為建設(shè)項目安全驗收提供科學(xué)依據(jù)，對建設(shè)項目未達到安全目標(biāo)的系統(tǒng)或單元提出安全補償及補救措施，以利于提高建設(shè)項目本質(zhì)安全程度，滿足安全生產(chǎn)要求。
2） 安全驗收評價內(nèi)容
① 檢查建設(shè)項目中安全設(shè)施是否已與主體工程同時設(shè)計、同時施工、同時交付生產(chǎn)和使用；評價建設(shè)項目及與之配套的安全設(shè)施是否符合國家有關(guān)安全生產(chǎn)的法規(guī)、規(guī)定和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。
② 從整體上評價建設(shè)項目的運行狀態(tài)和安全管理是否正常、安全、可靠。
2、 評價范圍
根據(jù)本項目安全驗收評價技術(shù)服務(wù)合同書的規(guī)定內(nèi)容，經(jīng)與建設(shè)單位商定：對中芯天津芯片生產(chǎn)廠房、化學(xué)品庫、污水處理站以及變配電站、鍋爐房、油庫、空壓站、冷凍站、水泵房的設(shè)備、設(shè)施進行勞動安全驗收評價。
由于公司對工藝及產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)保密且芯片生產(chǎn)線工藝設(shè)備自動化程度高，人、機分離，安全性能高，據(jù)同行業(yè)生產(chǎn)實踐，發(fā)生事故的可能性極小，對建設(shè)項目的總體勞動安全驗收評價結(jié)果影響較小，應(yīng)公司的要求，在芯片生產(chǎn)廠房勞動安全驗收評價中，在危險危害因素辨識分析的基礎(chǔ)上，僅對其危險性大的芯片生產(chǎn)的輔助設(shè)施進行勞動安全驗收評價。

3主要危險危害因素分析
1、 物質(zhì)的危險危害
芯片生產(chǎn)過程中，使用多種化學(xué)物品，廠區(qū)內(nèi)設(shè)有儲存這些化學(xué)物品的化學(xué)品庫，化學(xué)品種類達80種。按照GB13690-92《常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志》規(guī)定中對常用危險化學(xué)品，按其主要危險特性進行分類，該項目中使用的危險化學(xué)品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質(zhì)的主要危險危害為：
1） 有毒有害氣體（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。
2） 易燃液體（如丙酮、異丙醇等）如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災(zāi)爆炸。
3） 氧化劑（如過氧化氫等）如泄漏與有機物還原劑、易燃物接觸可引起火災(zāi)爆炸。
4） 腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學(xué)灼傷。
這些危險有害因素的主要物質(zhì)理化特性，以及化學(xué)危險品的貯存、使用的危險性分析詳見化學(xué)品庫單元.
2、 設(shè)備設(shè)施的固有危險危害
生產(chǎn)設(shè)備多，且特種設(shè)備的種類、數(shù)量多。電氣設(shè)備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房內(nèi)用電設(shè)備及控制系統(tǒng)；特種設(shè)備有燃?xì)忮仩t、空壓設(shè)備、冷凍設(shè)備、壓力容器及多種氣瓶和廠內(nèi)機動車輛；儲存設(shè)備有儲氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設(shè)備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險因素有：
1） 火災(zāi)爆炸
油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現(xiàn)泄漏，遇明火可引發(fā)火災(zāi)、爆炸危險。
鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現(xiàn)泄漏遇明火可引發(fā)火災(zāi)。當(dāng)天然氣與空氣混合的濃度達到爆炸極限時遇點火源可引發(fā)爆炸危險。
2） 物理爆炸
鍋爐、壓力容器（蒸發(fā)器、冷凝器、儲氣罐）設(shè)備、氣瓶等，如設(shè)備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當(dāng)，可引發(fā)物理爆炸。
3） 觸電危險
變配電設(shè)備、電氣線路、用電設(shè)備如產(chǎn)品質(zhì)量不佳、絕緣性能不良或因運行不當(dāng)、機械損傷、維修不善導(dǎo)致絕緣老化破損或設(shè)計、安裝不規(guī)范，安全凈距不足，或違章操作，均可能引發(fā)觸電危險。如出現(xiàn)短路、過載、接觸不良等，也可引發(fā)電氣火災(zāi)危險。
4） 靜電危害
如火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷不能及時消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。
5） 高空墜落危險
凡2m以上各類高空作業(yè)點位，其梯、臺、道、護欄等常規(guī)性防護措施不符合規(guī)范要求或損壞，可引發(fā)高空墜落危險。
6） 車輛傷害
廠內(nèi)各類運輸車輛如車輛本身缺陷，或制動、音響、燈光等失效，道路狀況不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車輛傷害。
7） 機械傷害
空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉(zhuǎn)、傳動設(shè)備如無防護罩或損壞，可引發(fā)機械傷害。
8） 灼傷
高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。
9） 噪聲危險
空壓設(shè)備、泵類、風(fēng)機等設(shè)備在運轉(zhuǎn)時可產(chǎn)生噪聲危害。


4評價方法的選取和評價單元的劃分
4.1評價方法的選取
結(jié)合本項目建設(shè)內(nèi)容及已做勞動安全預(yù)評價的實際，安全驗收評價采用以下兩種方法：
1、 安全檢查表（SCL）
依據(jù)國家、行業(yè)、地方相關(guān)法規(guī)、規(guī)定及技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，針對本工程存在的危險、危害因素，編制安全檢查表，以查驗項目在設(shè)計、施工、交付生產(chǎn)使用時，所采取的安全防護設(shè)施及技術(shù)措施的全面性和可靠性，并據(jù)此提出改進措施及建議。
2、 專家現(xiàn)場詢問，觀察法（邀請公司專業(yè)技術(shù)人員參加、配合）。
4.2評價單元的劃分
依據(jù)已確定的評價范圍及建設(shè)內(nèi)容的實際，本項目的安全驗收評價劃分如下評價單元。
1、 總平面布置及常規(guī)安全防護設(shè)施安全評價單元
2、 生產(chǎn)工藝及危險化學(xué)品使用安全評價單元
3、 化學(xué)品庫安全評價單元
4、 超純水制備設(shè)施系統(tǒng)安全驗收評價單元
5、 鍋爐房安全驗收評價單元
6、 油罐區(qū)、冷凍機房、空壓站、水泵房安全評價單元
7、 污水處理站安全評價單元
8、 供配電安全評價單元
9、 安全生產(chǎn)管理安全評價單元




5.1.2安全檢查表
依據(jù)GB50187-93 《工廠企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范》、SJ30002-92《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定》、GB4387-94《工業(yè)企業(yè)廠內(nèi)鐵路道路運輸安全規(guī)程》、GBJ16-87《建筑設(shè)計防火規(guī)范》(2001版)、GB50074-2002《石油庫設(shè)計規(guī)范》、GB2894-1996《安全標(biāo)志》、GB16179-1996《安全標(biāo)志使用導(dǎo)則》等相關(guān)法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)及現(xiàn)場狀況編制總平面布置及常規(guī)安全防護設(shè)施安全檢查表，檢查項目及內(nèi)容見表5.1.2-1。
總平面布置安全檢查表 表5.1.2-1
序號 檢查項目及內(nèi)容 依據(jù)法規(guī) 檢查結(jié)果 備注
1 廠址選擇
1.1 廠址選擇在全面考察，其自然和社會環(huán)境應(yīng)優(yōu)先選在工程地質(zhì)、水文、氣象條件符合安全衛(wèi)生要求，交通便利，協(xié)作方便，環(huán)境較為清潔的地區(qū)。 SJ30002-92
2.2.2 √ 符合要求。
1.2 廠址應(yīng)位于生活區(qū)最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，避免建在已建工廠煙囪主導(dǎo)風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)。 2.2.4 √
1.3 廠址應(yīng)具有滿足生產(chǎn)、生活及發(fā)展規(guī)劃所需要電源和給排水條件。 GB50187-93
2.0.5 √ 滿足要求
1.4 廠址應(yīng)與交通線路、車站、港口順捷合理聯(lián)接，廠所區(qū)盡量靠近公路干道。 GB50187-93
2.0.4 √ 交通便利。
1.5 地震斷層和設(shè)防烈度低于九度地震區(qū)。 GB50187-93
2.0.11 √ 七度設(shè)防。
2 總平面布置
2.1 廠區(qū)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)布置。一般可分為廠前區(qū)、主要生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)、倉庫區(qū)和動力區(qū)。 SJ30002-92
2.3.2 √ 按功能分為辦公區(qū)、生產(chǎn)區(qū)、公用工程區(qū)、預(yù)留區(qū)。
2.2 由廠部辦公樓、多層廠房、廠區(qū)主入口等組成的廠前區(qū)，宜置于廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)。 SJ30002-92
2.3.5 √
2.3 布局應(yīng)滿足生產(chǎn)加工過程流程。 GB50187-93
2.0.11 √ 流程順暢。
2.4 要求潔凈的生產(chǎn)設(shè)施應(yīng)布置在大氣含塵濃度低、環(huán)境清潔地段。潔凈廠房的布置應(yīng)符合“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”的規(guī)定。 GB50187-93
4.2.2 √ 符合要求。
2.5 變配電站宜位于負(fù)荷中心，或靠近主要用戶。不受粉塵、水霧、腐蝕性氣體影響。對于大容量的總降壓站，尚應(yīng)在其周圍加設(shè)圍墻。 SJ30002-92
2.3.15
GB50187-93
3.4.4 √ 總降變設(shè)在廠區(qū)西南角。各10kW變電站靠近負(fù)荷中心。
2.6 空壓站應(yīng)位于空氣潔凈地段，避免靠近散發(fā)爆炸性、腐蝕性和有害氣體的粉塵等場所。 GB50187-93
4.3.4 √
2.7 鍋爐房宜布置在廠區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)。 GB50187-93
4.3.7
SJ30002-92
2.3.13 √
2.8 污水處理站應(yīng)布置在廠區(qū)邊緣地帶，位于廠區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)。應(yīng)靠近污染源，遠(yuǎn)離水源構(gòu)筑物及空調(diào)空氣入口，四周留有必要的衛(wèi)生防護距離。 SJ30002-92
2.3.16
GB50187-93
3.4.2 √
2.9 火災(zāi)危險性屬于甲、乙、丙類液體燃料罐區(qū)的布置，應(yīng)遠(yuǎn)離明火或散發(fā)火花地點。
　　與耐火等級為2、3級廠房距離分別為20m、25m，與廠內(nèi)主干道距離15m，與次干道距離10m。 GB50187-93
4.6.5
GB50074-2002
4.0.8 ∽ 油罐區(qū)距鍋爐房西側(cè)外墻15.2m，距廠內(nèi)道路6m。
2.10 化學(xué)危險品庫，應(yīng)布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)及邊緣地區(qū)，應(yīng)遠(yuǎn)離火源，并符合國家現(xiàn)行有關(guān)防火規(guī)范的規(guī)定，防火間距不應(yīng)少于30m。 SJ30002-92
2.3.12 √ 基本符合有關(guān)規(guī)定。
2.11 工廠主要建筑物宜呈南北向布置，建筑物的方位應(yīng)保證室內(nèi)有良好的朝向、采光和自然通風(fēng)條件。 SJ30002-92
2.3.3
GB50187-93
2.0.1 √ 條件良好。
2.12 廠區(qū)出入口數(shù)量不宜少于2個。人流出入口與貨流出入口分開設(shè)置。 GB50187-93
4.7.4 √ 三個出入口，人、物分流。
2.13 廠區(qū)應(yīng)進行綠化，應(yīng)在道路及圍墻沿線植樹，空地上種植灌木，喬木和草皮，廠前區(qū)布置花壇，水池以及廠標(biāo)、雕型等建筑小品。 SJ30002-92
2.3.20 √
3 廠區(qū)道路
3.1 運輸線路，滿足生產(chǎn)要求，物流順暢，線路短捷，人流、貨流組織合理。 GB50187-93
4.1.8 √ 人流、貨流組織合理。
3.2 道路與主要建筑物軸線平行或垂直，主要生產(chǎn)廠、倉庫區(qū)、動力區(qū)的道路應(yīng)呈環(huán)形布置。廠區(qū)盡頭端式道路應(yīng)有足夠的消防車回轉(zhuǎn)場地。 SJ30002-92
2.3.17
GB50187-93
5.3.1 √ 呈環(huán)形布置。有回轉(zhuǎn)場地。
3.3 廠區(qū)主干線雙向行駛路寬≥5m，單向行駛路寬≥3.5m；并有單向行駛標(biāo)記，且能形成環(huán)形通道；人行道>0.75m；沿主干線人行道1.5m。 GB50187-93
5.3.5
5.3.6 √ 廠區(qū)道路21m、15m、12m、7m。有人行道。
3.4 職工上下班時間內(nèi)，人流密集的出入口和路段，應(yīng)停止行駛貨運和機動車輛。 GB4387-94
5.1.8 √
3.5 易燃易爆區(qū)、儲存庫區(qū)將道路劃分為限制車輛通行或禁止車輛通行的路段，并設(shè)標(biāo)志。 GB4387-94
5.1.4 × 油罐區(qū)、化學(xué)品庫道路未劃分限行路段。無標(biāo)志。
3.6 廠區(qū)道路在彎道交叉路口的橫凈距范圍內(nèi)，不得有妨礙駕駛員視線的障礙物。 GB4387-94
5.1.10 √
3.7 廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)置交通標(biāo)志。 GB4387-94
5.1.3 × 無交通標(biāo)志。
3.8 路面平整、路基穩(wěn)固、邊坡整齊、排水良好。 GB4387-94
5.1.1 √ 良好。
3.9 有完好的照明設(shè)施。 GB4387-94
5.1.1 √ 完好。
4 常規(guī)安全防護設(shè)施
4.1 架空平臺、走道、鋼梯應(yīng)符合國家現(xiàn)行《固定式工業(yè)平臺、工業(yè)防護欄桿、鋼直梯、鋼斜梯》等標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。凡采用直梯的場所，應(yīng)采取防護措施，相鄰兩層的直梯宜錯開設(shè)置。 SJ30002-92
2.6.7
2.6.8 √ 廠區(qū)平臺、鋼梯基本符合要求。
4.2 廠區(qū)各種井、溝應(yīng)有蓋板。 SJ30002-92
2.6.10 √ 有蓋板。
4.3 道路上部管架和棧橋等障礙物，在干道上的凈高不得小于5m。 SJ30002-92
2.3.18 √
4.4 凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應(yīng)設(shè)置安全標(biāo)志。必要處尚應(yīng)設(shè)置聲光、色或聲光結(jié)合的緊急警告信號。 SJ30002-92
2.9.1 ∽ 安全標(biāo)志不齊全，不醒目。
4.5 各種輸送氣體、液體及其它物料的管道，均應(yīng)按國家及電子工業(yè)有關(guān)規(guī)定涂色。 SJ30002-92
2.9.2 × 未按規(guī)定涂色。
4.6 廠房、動力站房的安全出口及疏散通道、應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。 SJ30002-92
2.9.3 ∽ 不齊全。
4.7 安全標(biāo)志的涂色，應(yīng)符合國家現(xiàn)行《安全標(biāo)志》及《安全色》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 SJ30002-92
2.9.4 ∽ 不規(guī)范。
5.1.3綜合評價分析
1、 危險危害辨識
1） 廠區(qū)建（構(gòu)）筑物如間距小，道路狹窄，路面不平整、不暢通，若人流、物流不能有效分流，車輛無回車場地或車輛剎車、音響、燈光等出現(xiàn)問題，易引發(fā)車輛傷害事故。
2） 廠區(qū)內(nèi)丙烷站、化學(xué)品庫（室），油罐區(qū)、110KV變電站等易燃、易爆、易中毒，及要害部位無安全標(biāo)志，無限行、禁行等交通標(biāo)志。易造成誤入及違章等，引發(fā)中毒、燃爆、觸電等傷害。
3） 廠區(qū)內(nèi)若坑、孔、井及走臺、平臺無防護圍欄或蓋板，直梯、斜梯不符合有關(guān)規(guī)定都可引發(fā)碰、磕、摔傷和墜落傷害。
4） 廠區(qū)內(nèi)若道路無路標(biāo)無交通標(biāo)志，過路工業(yè)管路無限高標(biāo)志，可造成各種車輛隨意超速，任其闖越工業(yè)管路架設(shè)較低區(qū)域，易造成車輛交通事故或設(shè)備損害事故。
2、 問題與建議
廠區(qū)總平面布置根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點按功能分區(qū)布置，能夠滿足生產(chǎn)加工過程流程要求，建（構(gòu)）筑物安全距離基本符合有關(guān)規(guī)定要求，廠區(qū)道路與主要建筑物軸線平行或垂直，主要生產(chǎn)區(qū)、庫區(qū)、動力區(qū)的道路呈環(huán)形布置，能滿足消防車暢通和回轉(zhuǎn)的要求，廠區(qū)各種井、溝有蓋板、平臺、走臺、鋼梯基本符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。但仍有一些問題應(yīng)引起注意。需采取相應(yīng)措施以消除可能導(dǎo)致事故發(fā)生的隱患。
1） 油罐區(qū)與鍋爐房和廠區(qū)道路的間距未達到GB50074《石油庫設(shè)計規(guī)范》的要求。應(yīng)按油罐區(qū)評價單元的建議完善其防火防爆措施并控制儲油量。
2） 凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，安全出入口，應(yīng)設(shè)置齊全醒目的安全警示標(biāo)志。安全標(biāo)志的涂色應(yīng)符合國家現(xiàn)行的《安全標(biāo)志》及《安全色》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
3） 廠區(qū)工業(yè)管路應(yīng)按GB7231-87《工業(yè)管路的基本識別色和識別符號》規(guī)定，基本識別色應(yīng)涂刷在管路全長上或在管路上涂刷寬150mm的色環(huán)或在管路上用基本識別色膠帶纏繞寬150mm的色環(huán)。
基本識別色色環(huán)應(yīng)涂刷在所有管路交叉、閥門和穿孔西側(cè)等的管路上以及其他需要識別的部位。在管路上用識別符號標(biāo)識管內(nèi)流體性質(zhì)、名稱和流向。
4） 廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)置顯示道路名稱、方向、車輛限速的交通標(biāo)志。在易燃易爆的生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)根據(jù)需要可將部分道路劃分出限制或禁止車輛通行的路段，并設(shè)置標(biāo)志。
5.1.4評價結(jié)論
廠區(qū)總平面布置綜合考慮有利生產(chǎn)，方便工作的要求，各建（構(gòu)）筑物按功能分區(qū)，生產(chǎn)工藝流程短捷便利，整體布局合理、廠區(qū)道路呈環(huán)形布置，消防通道暢通、照明完好，人、物分流，并為企業(yè)發(fā)展留有余地和空間，基本符合GB50187《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范》的要求，只要按照檢查表和建議的內(nèi)容給予補充完善，可為實現(xiàn)安全生產(chǎn)創(chuàng)造更為有利的條件。
5.2生產(chǎn)工藝及危險化學(xué)品使用安全評價單元
　　　　支援車間危險化學(xué)品使用、儲存、安全措施情況如表5.2.1-3所示：
危險化學(xué)品使用、儲存及安全措施表 表5.2.1-3
序號 儲存場
所名稱 儲存危險化學(xué)品名稱 氣柜數(shù)量（個） 安全設(shè)施
1 毒性氣
體室 砷化氫混合氣（AsH3/H2） 1 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜、雙套管輸送，內(nèi)套管為真空，設(shè)偵測器，介質(zhì)泄漏時，報警。
1.5%鍺烷/氫氣（GeH4/H2） 1
1%磷化氫/氮氣混合氣（PH3/N2） 1
5%磷化氫/氮氣混合氣（PH3/N2） 2
2 易燃?xì)怏w室 氨氣（NH3） 8 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測報警、消防水噴淋、排風(fēng)（酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開）、火災(zāi)聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。
一氧化碳（CO） 3
二氯硅烷（SiH2Cl2） 1
二氟甲烷（CH2F2） 1
50ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2） 1
氟甲烷（CH3F） 2
100ppmB2H6/N2 1
5% B2H6/N2 2
100ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2） 2
10%氨氣/氮氣 1
C4F6 1
3 腐蝕性氣體室 Cl2 2 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋(ClF3無)、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。
ClF3 2
HBr 2
HCl 11
SiF4 1
4 氧化氣體室 NF3 9 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。
N2O 7
30%O2/He 6




5



惰性氣體室 1.2%He+N2 1 10%氦氣/氮氣工藝吹掃、TGM報警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報警、shut down 按鈕、勞動防護用品專柜。
C4F8 2
CHF3 1
C2F6 1
CO2 1
CF4 2
CHF3 2
SF6 2
He 1
4%H2/N2 1
6 酸室 HCl CDM 1 設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置。
BOE CDM 1
HF CDM 2
NOE CDM 1
HNO3 CDM 1
H3PO4 CDM 1
H2SO4 CDM 2
HF100:1 CDM 1
7 Base Room
（堿室） NH4OH 1 設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器，PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。
H2O2 2
SD-1 1
8 溶劑室 ACT940 CDM 1 設(shè)溶劑排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報警裝置，自動水噴淋裝置、消防器材。
EG-01 1
EBR10A 1
1PA-01CDM 1

5.2.2危險危害辨識與分析
1、 火災(zāi)、爆炸
各類易燃液體、易燃?xì)怏w在生產(chǎn)、儲存、輸送過程中，一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制造質(zhì)量差、機械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操作，造成物料泄漏，如作業(yè)現(xiàn)場通風(fēng)不良，與空氣混和達到爆炸極限，遇有火源可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸；
2、 腐蝕、中毒、化學(xué)灼傷
清洗、擴散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學(xué)品生產(chǎn)、儲存、使用場所內(nèi)，盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設(shè)備、容器以及輸送管路因材質(zhì)缺陷，制造質(zhì)量差，搬運、使用過程機械損壞、傾翻，造成物料泄漏，如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會引起嚴(yán)重的化學(xué)灼傷；同時各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏，人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體，均會造成人員中毒。
3、 物理爆炸
各類壓力容器（包括氣瓶）、管道，如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等，可能發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計壓力而發(fā)生爆炸，造成人員傷亡，設(shè)備損壞。
4、 高溫灼傷
高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。
5、 激光、紅外線輻射灼傷
在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。
6、 高頻、噪聲傷害
在離子植入?yún)^(qū)，使用離子植入機等高頻設(shè)備；清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機、蝕刻機、微影機等產(chǎn)生噪聲的設(shè)備，如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護措施不當(dāng)或損壞都會對人員造成物理因素傷害。
7、 高處墜落
當(dāng)去廢溶劑儲罐等相對基準(zhǔn)面標(biāo)高超過2m設(shè)備進行檢查、操作或維修設(shè)備時，若未按標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置鋼梯、護欄、平臺或設(shè)置不完善，作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時，稍不慎會發(fā)生高處墜落事故。
8、 觸電
各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。
9、 電氣火災(zāi)
電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護器、過電壓保護等裝置或失效，線路絕緣損壞、短路，以及防爆場所電氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會發(fā)生電氣火災(zāi)。
10、 雷電危害
建筑物防雷設(shè)計不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求，當(dāng)雷擊建筑物、電力設(shè)備、線路等時，會產(chǎn)生雷電過電壓，在雷電波及的范圍內(nèi)會導(dǎo)致嚴(yán)重?fù)p壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火災(zāi)、爆炸，造成嚴(yán)重的生命、財產(chǎn)損失。
11、 靜電危害

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